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致茂Chroma 7505-1 多功能光學檢測系統(tǒng)

主要特色：

• 一機具備1D、2D、3D量測能力
• 具備膜厚量測功能(1D)，使用穿透反射式量測，可進行非破壞式膜厚量測
• 使用高解析度線型掃瞄相機，可進行高速2D瑕疵量測，可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵
• 使用白光干涉量測技術(shù)，可進行3D三維形貌量測
• 搭載電動式鼻輪，可同時掛載多種物鏡并可程式控制切換使用
• 具備暗點以及邊界錯誤問題修正演算法
• 模組化設(shè)計可依量測需求及預算考量進行各部件選配
• 量測范圍可涵蓋約700 mm x 900 mm (可依需求提供更小尺寸)
• 三維量測提供多種表面參數(shù)量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
• 載臺具備真空吸附能力，軟性待側(cè)物可*平整的被吸附形成一個平整的平面
• 友善的人機介面，簡單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖形顯示
• 自動化快速自我校正能力，確認系統(tǒng)量測能力
• 提供腳本量測功能，具備自動量測能力
• 提供中/英文程式介面切換

Chroma蕞新一代7505-01多功能光學檢測系統(tǒng)能實現(xiàn)在一設(shè)備上同時具備1D、2D、3D的量測能力。1D膜厚量測功能，利用穿透反射式量測，可對透明半透明的材料進行非破壞性膜厚量測。2D量測搭載高解析度線型掃瞄相機，搭配電腦精密控制的平臺進行水平掃描，量測范圍可達到700mm x 900mm的范圍，同時載臺具備真空吸附能力，針對軟性待測物如觸控面板、電子紙及AMOLED等軟性顯示器等可以平整的被吸附形成一個平整的平面。本系統(tǒng)可適合于各種需要進行微奈米等級量測并同時需要量測大范圍的應(yīng)用。2D瑕疵量測，可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵，并可透過三維量測功能進一步對二維瑕疵進行高度或深度的分析，同時具備2D及3D瑕疵分析的功能，能解決傳統(tǒng)二維檢測無法量測高度或深度的缺點。

目前3C產(chǎn)品朝小型化發(fā)展，相關(guān)上游供應(yīng)產(chǎn)業(yè)，諸如半導體、平面顯示器、PCB、軟性顯示器、電子紙、OLED、微機電(MEMS) 、電子封裝等產(chǎn)業(yè)，對于各項二維三維的量測需求尺寸將會越來越小，各項尺寸量測的準確性會反映出產(chǎn)品的品質(zhì)與效能，在制程中對各項尺寸品質(zhì)的即時監(jiān)測需求與日俱增。Chroma 7505-01能提供微奈米等級1D、2D、3D多功能的量測能力，可滿足各項產(chǎn)業(yè)及研究單位之需求，是您提升效率及節(jié)省成本的蕞佳選擇。

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致茂Chroma 7505-1 多功能光學檢測系統(tǒng)